HPR100 ICP－等离子体工作站

    Hiden HPR 100 ICP等离子体工作站（ICP plasma workstation with EQP ion mass / energy analyser），完整的RF-ICP 反应器/ 等离子体分析系统，可研究全部的等离子体过程，对射频等离子体过程中的所有种类进行组合式的质量/能量分析。

应用：

    · 等离子体/ 反应性离子蚀刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 表面修饰
    · 真空/等离子体过程
    · 等离子体清洁 / 杀菌
    · 薄膜制造/修改
    · 合成物制造/修饰

特点：
 
    · 圆柱形石英腔，直径100mm
    · 4 转动方向的铜感应卷，及相应线圈冷却设备和100mm线圈调节器。
    · 13.56MHz RF 发生器， 200W 电源
    · RF防护(440 x 340 x 340 mm).
    · 空气冷却，手动或自动双路流量控制
    · 一对涡轮分子泵管路以进行差动操作
    · 电容压力计，室压显示
    · Hiden EQP 500 等离子体分析仪，带有 100mm Z驱动
    · 质量/能量分析仪，可分析阴阳离子，中性粒子和自由基团
    · MASsoft软件操作