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HPR80 活泼性、 腐蚀性气体分析仪
简介:HPR80活泼性、腐蚀性气体分析仪HPR-80(QuantitativeGasAnalyserforReactive/CorrosiveSpecies)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。应用：等离子体/反应性离子蚀刻研究CVD/PVD/MOCVD半导体晶片加工研究真空...
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HMT100 高压残余气体分析仪
简介:HMT100-RC高压残余气体分析仪(HighPressureResidualGasAnalyser)配备了精密的四极质谱仪，独特的双重模式RGA系统，检测已有的或生产过程中形成的气体。针对真空诊断以及过程监测。应用：残余气体或泄漏检测实质泄漏或脱附分析除气研究烘烤周期泵效能腔室/过程气体污染物特点：HMT型...
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超高真空TPD分析系统 UHV TPD ANALYSIS SYSTEM
简介:超高真空TPD分析系统UHVTPDANALYSISSYSTEMTheUHVTPDworkstationisafullyservicedUHVchamberwithsampleheatingstage,3F/PICquadrupolemassspectrometerandTPDanalysissoftware.HidenTDSWorkstation.Includes:HidenHAL/3FRC3
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HAL RGA四级质谱仪
简介:残余气体分析仪ResidualGasAnalysers仪器介绍HidenRGA系列残余气体分析四极质谱仪(ResidualGasAnalysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。残余气体或泄漏检测实际泄漏或脱附分析除气研究烘烤周期泵效能腔室/过程气体污染物主要特点灵...
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真空工艺过程气体分析仪
简介:真空工艺过程气体分析仪ProcessGasAnalyser技术参数HPR-30真空过程气体分析系统(ProcessGasAnalyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。应用：CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD真空涂覆/等离子刻蚀沉积溅射污染物研究基本压力辨别泄漏探测/实质泄漏/脱附分析除...
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