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HPR100 ICP－等离子体工作站
简介:HidenHPR100ICP等离子体工作站（ICPplasmaworkstationwithEQPionmass/energyanalyser），完整的RF-ICP反应器/等离子体分析系统，可研究全部的等离子体过程，对射频等离子体过程中的所有种类进行组合式的质量/能量分析。应用：等离子体/反应性离子蚀刻研究CVD/PVD/MOCVD表面修饰真空...
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PSM 等离子体质量和能量分析仪
简介:PSM是一台差式泵质谱仪（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。应用：离子束蚀刻等离子体沉积研究离子植入/激光烧蚀残余气体分析泄漏检测特点：差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接灵敏度高/极稳定的3级过滤四极...
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朗缪尔探针（Langmuir Probe）
简介:ESPion朗缪尔探针AdvancedLangmuirProbes仪器介绍ESPion朗缪尔探针（AdvancedLangmuirProbesforElectricalPlasmaCharacterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是可靠的朗缪尔探针（LangmuirProbe）。主要特点获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半...
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等离子体质量和能量分析仪EQP
简介:EQP等离子体质量和能量分析仪MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics仪器介绍HidenEQP是一台结合质量和能量分析的仪器（MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。主要特点·软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子...
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