Hiden IFG200 快速原子轰击/离子枪(FAB / Ion Gun)是采用技术的 FAB /离子枪,进行静态、动态 SIMS研究,表面和深度分析。 应用: · 静态、动态SIMS 研究 · 俄歇电子波谱 · 离子束溅射 · 绝缘体的FAB/SIMS 研究 · 表面科学研究 · 光栅 / 深度分析 特点: · 2mm 原子或离子束,当能量从0.5~5 keV. · FAB研究中,电荷交换室,使离子、原子快速交换 · 静电偏斜透镜,以清洁FAB 束 · 高电流密度,及稳定配置 · 离子束模式中,离子枪的3°偏移量,用于中性粒子的排斥 · 使用惰性气体和氧气的能力 · 差式泵源减少室内气体 · 双灯丝结构容易更换 · 控制单元与IG20高亮度离子枪完全兼容 · 加上SIM 和EQS 探针直接完整操作,便于直接光栅速度