二次离子质谱工作站

    Hiden SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，综合UHV / SIMS 设备，进行的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。

应用：

    · 各类型样品的快速转向
    · 静态、动态SIMS
    · 整合的离子源，便于RGA和SNMS
    · 表面改性/ 光栅研究
    · SIMS 表面绘图/ 成像
    · 表面污染物分析


特点：

    · Hiden EQS SIMS 分析仪，运行于 MASsoft O/S 之下，检测至 ppb
    · 阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪
    · 基本的激发源选择：带差式泵的Hiden IG20 Ion, IFG200 FAB 或
         高性能液态镓枪
    · 整合的离子枪光栅控制和信号选通，进行深度分析
    · 绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和
    · 液氮冷井和真空室烘烤加热器
    · 快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器
    · 4 轴：X, Y, Z, θ UHV 操纵器，以定位样品
    · 加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，进行SIMS元素成像
    · 静态SIMS谱图库可用
    · 自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表，使SIMS性能