HMT 100-RC 高压残余气体分析仪(High Pressure Residual Gas Analyser)配备了精密的四极质谱仪,独特的双重模式RGA系统,检测已有的或生产过程中形成的气体。针对真空诊断以及过程监测。
应用: · 残余气体或泄漏检测 · 实质泄漏或脱附分析 · 除气研究 · 烘烤周期 · 泵效能 · 腔室/过程气体污染物
特点:
· HMT型适用于高压4x10-3 Torr操作(小压力4x10-8 Torr) · 在P < 10-4 Torr时具有高灵敏度的RGA操作模式,小压力1x10-11 Torr · 质量数100amu,软件操作。 · 稳定性好(24h之上,高度变化小于±1% ) · MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制 · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 · 混合模式扫描,多个窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰等 · 同步显示数据图,列表 · 同步背景扣除,自动质量数列表 · 数据输出为ASCII格式,至windows设备 · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如 Excel等