朗缪尔探针（Langmuir Probe）

主要特点

　· 获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析
　· Hiden在被动射频补偿方面处于地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具有的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
　· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率
　· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起)
　· ESPion 是所有商业化探针中快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路
　· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选
　· 自清洗循环，防止探针污染
　· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

应用：

　· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
　· 脉冲等离子体操作
　· 离子密度 (Ni & Gi)
　· 电子温度(Te)
　· 电子能量分布(EEDF)
　· 电子密度(Ne)
　· 等离子体电位
　· Debye 长度,悬浮电位