等离子体刻蚀终点检测仪
Ion Milling Probe
仪器介绍
IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe），自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量化监测。
主要特点
• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu
• 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室
• 离子光学器件，带能量分析器和内置离子源
• Penning规和互锁装置，以提供过压保护
• 数据系统与过程控制工具整合
• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯
应用：
• 终点检测（End Point Detection）
• 靶的纯度鉴定
• 质量控制/ SPC.
• 残余气体分析
• 泄漏监测
