产品概述
基于RTS-mini显微系统而搭建，集成拉曼/荧光/光电流原位测试功能。该系统可原位探测拉曼、荧光及光电流信号。配合高精度微米电动位移台，实现Raman Mapping，PL Mapping以及激光诱导光电流成像（LBIC)。深度表征材料内部的分子振动能级与转动能级结构信息，光生载流子的生成与复合机制，器件吸收和电荷生成的微区特性，光电材料界面以及半导体结区的品质分布等特性。
拉曼/荧光/光电流原位测试系统技术参数
| 拉曼/拉曼Mapping | 拉曼频移范围 | 60-6000cm-1 @532nm激光器 | ||||
| 共焦方式 | 光纤共聚焦 | |||||
| 高灵敏度 | 硅三阶拉曼峰的信噪比好于20:1，并能观察到四阶峰 | |||||
| 空间分辨率 | ≤1μm@100X物镜，NA0.9，532nm单纵模激光器 | |||||
| 光谱CCD探测器 | 分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm区间处>90%， 光谱范围：200 ~ 1100 nm | |||||
| 荧光/荧光寿命成像 | 光谱扫描范围 | 200-900nm | ||||
| *小时间分辨率 | 16ps | |||||
| 荧光寿命测量范围 | 500ps-10μs | |||||
| 空间分辨率 | ≤1μm@100X物镜@405nm皮秒脉冲激光器 | |||||
| 光电流/光电流成像 | 激光器（光源） | 标配532nm激光器，能量稳定性1%@4小时 可选配2路激光器用于光电流测试 | ||||
| 数据采集 | 电流源表：Keithley 2450 测量范围：1nA – 1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA 准确度： 0.03% | |||||
| 探针台 | 直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合 样品位置单独二维移动，方便同类样品更换 样品位置移动行程25mm，分辨率5μm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选 | |||||
| 测试功能 | 光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 | |||||
