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九州空间
JZ-BTZ4型
详细说明
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6～8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"
可搭配Probe card测试
适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品
手动探针台主要用途： 应用于生产过程中对集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的参数等
一、机器的组成
本机器由三大部分组成如图1所示：
图1机器组成
1、探针台主体，2、探针和打点器，3、显微镜及环形灯。
二、功能介绍
本手动探针台结构特点是以右方台面手柄的移动控制被测试芯片的移动，以左方旋钮的旋转控制芯片的高度和旋转。
1、技术性能指标：
测试芯片尺寸：4英寸。
片台X轴、Y轴行程各是110mmm。
片台Z轴高度行程6mm。
配置 4～100倍体式显微镜，具有环行灯照明装置。
配备6个探针架。
具有手动打点功能，配备1个打点器。
2、各部件动能介绍
※探针台主体结构如图2所示，
图2：探针台主体结构
1底座、2承片台、3片台移动手柄、4探针和打点器安装盘、5显微镜支架、6片台高度手柄、7片台转动手轮、8、真空接口
各部功能介绍：
底座—是机器的基础，承片台、移动机构等都装在其上。
承片台—用来放置被测试的芯片。
片台移动手柄—在底座上移动此手柄就可以使承片台沿X轴、Y轴移动，移动范围在110mm内。
探针架和打点器安装盘—用来安装探针架和打点器的固定盘状物。
显微镜支架—用来安装显微镜的固定架，它上面有两个锁紧手柄和一个调节螺钉，用来调节显微镜的位置。
片台高度手柄—旋转此手柄，承片台即上下移动，范围是6mm。
片台转动手轮—转动手轮，片台可转动一个角度。范围是±30°。
电器接口—供打点器、环形灯工作的电器插座。具体如图3所示。
图3：电器插座
1、220V电源输入 2、环形灯接口 3、打点器接口 4、24V输入
※探针架结构如如图4所示，它具有三维调节功能。打点器架的结构相同。
图4：探针架结构
1、固定锁钮 2、前后调节钮 3、左右调节钮 4、上下调节钮5、探针
※探针架结构如如图4所示，它具有三维调节功能。打点器架的结构相同。
图5、打点器结构
1、墨盒2、打点线3、顶紧螺钉4、限位螺母5、定位螺母
※显微镜及环形灯
本机配备体式显微镜，显微镜的变倍倍率是4～100倍，物距100mm。详细参见显微镜的说明。
本机配备环形照明灯，220V 8W。
三、使用方法
1、测试准备
（1）根据待测芯片单元图形情况选择需要的探针架个数，将探针架安装在固定盘上。
（2）将要测试的半导体芯片放在承片台上。可以转动左手下部旋钮使图形对在垂直位置。
（3) 在显微镜下校对探针的位置，使之对准在芯片单元相应的焊点上，针尖的高度一致。同时检查测试连线使之接好。
（4）打点器安装在固定盘上，并对位在同一个芯片单元图形内，插头接在机器相应的插座上。
（5）将环形灯接头插在相应的插口上（也可直接插在220V电源上）。
（6）将电源线插到220V电源上。
2、测试过程
（1）右手移动工作台上的受柄，在显微镜下观察探针对位到要测试的芯片单元图形的相应焊点上。
（2）对好位置后，左手顺时针旋转左侧上部的旋钮使承片台向上移动，针和芯片的焊点接触，观看测试仪输出信号，判断芯片是否合格。（3）有不合格的芯片单元时，右手按动手柄上部的按钮，打点器打点在该芯片单元上，合格的不用打点。然后，逆时旋转左侧上部旋钮承片台下移。进入下一个芯片单元的测试 。如果芯片图形位置不垂直，转动左手下部手轮调直，如此往复，完成整个芯片单元的测试。
本机也可测试单个或多个芯片。
3、测试完成
（1）将测试后的芯片从承片台上取下。
（2）安装下一个要测试的芯片，如芯片单元图形与上一次测试的相同，不用动针的位置。继续测试。如不同要重新校对探针位置后再开始测试。
（3）整个测试完成后，把电源线从220V插座上拔掉，保证安全。
四、注意事项
1、显微镜光学镜头注意保养，防潮、防震、防尘。
2、承片台表面不要划压。
3、上移承片台时注意不要让探针碰到承片台上，防止探针尖部损坏。
4、打点器墨盒要经常清理，防止堵塞，特别是长时间不用时要清洗掉残留墨汁。
附件：设备清单
1、探针台主机------------1套
2、探针架加探针----------6套
3、打点器----------------1套
4、体式显微镜------------1套
5、环形灯----------------1个
6、220V-24V开关电源-----1个
7、电源接线--------------1条
8、体式显微镜说明书------1页
9、木质外包装箱----------1个
