英微米表面微粒分析仪U-III该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精 准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。核心技术原理界面颗粒再悬浮技术?：采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，便于后续检测。高精度光学检测：基于激光光学传感器和光散射原理，实时捕获悬浮粒子的散射光信号，实现单个粒子尺寸的精确分析。关键性能指标分辨率达0.1微米，支持纳米级颗粒检测；配备静态采样模式，提升测量精度和稳定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制标准，满足半导体制造中对洁净度的严苛要求。行业应用优势减少50%以上的自净时间及颗粒数，缩短PM周期，提升制造效率；通过实时监测表面污染，降低因颗粒导致的良率损失和可靠性风险；适用于晶圆、光学元件、精密电路板等对洁净度敏感的生产环节。系统集成设计支持USB数据导出和软件升级，便于与工厂智能管理系统对接；采用双电池热插拔设计，适应连续生产环境的需求。
该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;粒径分布误差：≤±30%浓度示值误差：≤±30%重复相对偏差：≤±10%FS重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器温度范围：-40 ～ 120℃检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换检测方式：定时检测、循环检测可设置 报警方式：自定义数量报警值、质量报警值限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等
