以颗粒状的干冰作为清洗介质,通过压缩空气将干冰微粒高速喷向清洗物表面,使清洗物表面的污垢冷冻至脆化并爆裂,干冰微粒通过撞击作用渗透到污垢及基层材料之间,随即升华,体积瞬时增大800倍,迫使污垢与基层材料脱离,达到清洗的目的。
| 单喷头干冰清洗工作图 | |
| 单喷头干冰清洗速度压力仿真 | 干冰清洗原理示意图 |
| 类 | 序号 | 清洗方法 | 异物粒子祛除 | 膜层祛除 | 对物件的损伤 | 干燥工序 | 环境污染 | 难题 |
| 湿法 | 1 | 纯水 | 一般 | 较差 | 一般 | 要 | 差 | 水膜再着附，金属元素残留 |
| 2 | 有机溶剂 | 一般 | 较好 | 较大 | 要 | 大 | 有机溶剂再着附，溶剂后处理 | |
| 干法 | 3 | 纳米干冰 | 很好 | 易 | 较低 | 无 | 无 | 清洗面积较小 |
| 4 | 超声波 | 一般 | 难 | 一般 | 无 | 无 | 固体异物，微细颗粒难除净 | |
| 5 | 空气 | 一般 | 难 | 一般 | 无 | 无 | 固体异物，微细颗粒难除净 | |
| 6 | 大气等离子 | 易 | 一般 | 较大 | 无 | 无 | 清洗能力较差 |
| 型号 | 半导体清洗机WMGB01 |
| 外形尺寸 | 450×500×300 |
| 重量 | 20Kg |
| 电源 | 220V 50Hz 单相 |
| 功率 | 2kW |
| CO2喷射系统 | |
| CO2 | 液态 |
| CO2压力 | ≥5.5MPa |
| 喷嘴规格 | 0.1mm~4mm |
| CO2消耗量 | 50~200g/min |
| CO2恒温系统 | |
| 介质 | - |
| 容量 | - |
| 温度调节范围 | - |
| CO2增压系统 | |
| 驱动介质 | - |
| 驱动气压 | - |
| 增压比 | - |
| 增压量 | - |
| CDA辅助系统 | |
| CDA气体 | 压缩空气/氮气 |
| CDA压力 | 0.1~0.8MPa |
| CDA温度调节 | 选配 |
| 项目 | 外观 | 孔内清洗效果 （EDX检测残渣） | 孔内清洗效果 （铝层厚度，SEM检测铝层） | 效果 |
| 干冰清洗前 | 表面泛白 | 孔内有残渣 | 铝层4.5um | —————— |
| 干冰清洗后 | 表面干净 | 孔内无残渣 | 铝层4.3um | ①清洗效果理想 ②对铝层无腐蚀 ③结合力：5.2N/cm |
| 高压水枪清洗后 | 表面干净 | 孔内有铜屑 | 铝层4.5um | ①清洗效果理想 ②孔内有铜屑 ③结合力：4.5N/cm |
| 项目 | 孔内清洗效果（EDX检测残渣） | ||
| 干冰清洗前 | 1 | 2 | 3 |
| 干冰清洗后 | 1 | 2 | 3 |
| 高压水枪清洗后 | 1 | 2 | 3 |
