Lake Shore的CRX-EM-HF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在CRX-EM-HF多功能探针台上进行。研究人员可以使用CRX-EM-HF来测试磁输运参数，ST-FMR等。它是Lake Shore众多探针台中可用于矢量相关磁输运测量的无液氦低温探针台。为了最大限度地提高样品的磁场，CRX-EM-HF的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。
CRX-EM-HF使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。
主要特征
√ 温度范围8 K~400 K
√ 水平磁场±0.6 T
√ 最大1英寸（25.4 mm）样品
√ 无需系统降温即可施加磁场
√ 样品360°旋转磁各向异性测试
主要参数及描述
磁场 | |
磁体类型 | 电磁铁 |
磁场方向 | 水平方向（平行于样品面） |
磁场控制 | 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制 |
磁场大小 | 最大±6 kOe (±0.6 T) |
磁场均匀性 | 0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径 |
探针针尖移动 | <5μm 整个磁场范围内 |
温度范围 | |
最多安装4个探针臂 | 基础温度8 K，控制温度范围10 K~400 K |
温度稳定性 | |
基础温度 (无加热控制) | 未说明 |
<10 K | ±50 mK |
10 K ~ 350 K | ±20 mK |
351 K ~ 400 K | ±50 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵为标准 |
抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3Torr) |
室温下 | <5 × 10-4Torr |
基础温度下 | <1 × 10-5Torr |
最高温度下 | <5 × 10-4Torr |
循环时间 | |
总循环 | 4.5 h |
抽真空 | 0.5 h |
探针台冷却 | 2.25 h |
探针台升温 | 1.75 h |
样品 | |
最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
样品背光接口 | 不可选 |
样品旋转 | 360°样品旋转选件(PS-360-EMPX) |
样品振动 | ＜1 μm |
探针配置 | |
最大探针数 | 4 |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) |
探针支架 | 连接样品台热沉 |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 |
DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 |
微波探针 | 频率范围从DC到67GHz |
光纤探针 | 可用于电光测量 |
落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 |
