CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能设计的无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRX-4K多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K，探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。CRX-4K 可定制容纳直径达102 毫米（4 英寸）的晶圆片，并有直径 51 毫米（2 英寸）的探测区域。
主要特征
√ 温度范围4.5 K~350 K
√ 可选高温至675 K
√ 无液氦低温操作
√ 降温中尽可能减少样品冷凝
√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102mm）可选
√ 环形磁场选件最大0.19T
主要参数及描述
温度范围 | |
安装2个探针臂 | 基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 350 K |
安装4个探针臂 | 基础温度5.5 K，控制范围6 K ~ 350 K |
安装6个探针臂 | 基础温度6.0 K，控制范围6.5 K ~ 350 K |
安装PS-HTSTAGE选件（与样品背面偏压不兼容） | 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K |
温度稳定性 | |
基础温度 (无加热控制) | 未说明 |
<10 K | ±50 mK |
10 K ~ 100 K | ±10 mK |
101 K ~ 250 K | ±10 mK |
251 K ~ 350 K | ±20 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 |
抽真空时间 | 30 min (<1×10-3 Torr) |
室温 | <5 × 10-4Torr |
基础温度 | <1 × 10-5Torr |
最高温度 | <1 × 10-5Torr |
循环时间 | |
总循环 | 4 h |
抽真空 | 0.5 h |
探针台冷却 | 2 h |
探针台升温 | 1.5 h |
样品 | |
最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
样品背光接口 | 不可选 |
样品旋转 | 不可选 |
样品振动 | ＜1 μm |
探针配置 | |
最大探针数 | 6 |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) |
探针支架 | 连接样品台热沉 |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 |
DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 |
微波探针 | 频率范围从DC到67GHz |
光纤探针 | 可用于电光测量 |
落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 |
