美国Lake Shore公司成立于1968年，是极端温度和磁场条件下材料表征测量和控制解决方案的创新者。其主要产品包括：低温探针台、振动样品磁强计、霍尔效应测量系统、低温恒温器、低温控温仪、低温传感器、高斯计等。
美国Lake Shore公司的低温探针台能够提供精确的环境控制、可重复的测量，是全球科研工作者们值得信赖的伙伴。所有Lake Shore的探针台都经过了专有的热学设计，以确保样品的温度在测试时获得尽可能高的置信度。使用ZN50R-CVT探头，能有效减少热胀冷缩效应，确保在大范围温度变化时针尖位置保持稳定，使其在连续可变的温度下进行无人值守测量成为可能。
Lake Shore低温探针台主要用于电学、磁学、微波、THz、光学等多种测量，可以根据客户需要，选择不同的温度和磁场配置。客户可以选择自己搭配测试仪表集成各类测试，也可以选择我们的整体测试解决方案，如电输运测试、半导体分析测试、霍尔效应测试、铁电分析测试，集成光学测试等。
主要特征
◇ 最大±2.5T磁场，可定制5T磁场
◇ 低温至1.6K，高温至675K
◇ 最大可测8英寸晶圆样品
◇ 最高67GHz高频探针
◇ 3 kV 高电压探针
◇ 大温区低温漂探针
◇ 真空腔联用传送样品
◇ ＜30 nm低振动适用于显微光学测量
◇ 霍尔效应、铁电、半导体分析测试选件
探针台选型指引
*如果有特殊需求，可以联系我们商讨定制方案
| 型号 | 磁场 | 最大探针臂数 | 标准温度范围 | 可选高温 | 可选低温 | 最大样品尺寸 | 真空 | 样品台旋转 |
无液氦低温探针台 | ||||||||
0.6 T 水平磁场 电磁铁 | 4 | 8 K to 400 K | — | — | 25 mm (1 in) 直径 | 10-5torr | ±360° （可选) | |
2.5 T 垂直磁场 超导磁体 | 6 | 10 K to 500 K, <10 K to 400 K 同Load Lock使用时 | — | — | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5torr 标准, 10-7torr 可选 | — | |
— | 6 | 4.5 K to 350 K | 20 K to 675 K | — | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5torr | — | |
— | 6 | <10 K to 350 K | 20 K to 675 K | — | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5torr | — | |
（消耗制冷剂）低温探针台 | ||||||||
— | 6 | 4.5 K to 475 K | — | 3.5 K | 102 mm (4 in) 直径 | 10-5torr | ±5° | |
0.6 T 水平磁场 电磁铁 | 4 | 4.5 K to 400 K; 8 K to 400 K 同360°旋转选件使用时 | — | 3.2 K | 25 mm (1 in) 直径 | 10-5torr | ±360° (可选) | |
2.5 T 垂直磁场 超导磁体 | 6 | 4.2 K to 400 K, <10 K to 400 K 同Load Lock使用时 | — | 2 K | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5torr 标准 10-7torr 可选 | ±5° | |
— | 6 | 4.2 K to 475 K,<10 K to 400 K 同Load Lock使用时 | — | 低温:1.9 K 极低温: 1.6 K | 51 mm (2 in)直径 12.7 mm (0.5 in)连接Load Lock | 10-5torr 标准 10-7torr 可选 | ±5° | |
— | 6 | 4.2 K to 475 K | 20 K to 675 K | 3.2 K | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5torr | — | |
— | 4 | 4.2 K to 475 K | — | 3.2 K | 32 mm (1.25 in) 直径 | 10-5torr | — | |
