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Filmetrics F50 薄膜厚度测量仪

Filmetrics F50 薄膜厚度测量仪
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Filmetrics F50
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详细说明

  F50薄膜厚度均匀性测量仪

  依靠F50先进的光谱测量系统,可以很简单快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台,确保能够做成千上万次测量。

  产品名称:F50薄膜厚度测量仪

  品牌:Filmetrics

  产品型号:F50

  产地:美国

  自动化薄膜厚度绘图系统

  依靠F50先进的光谱测量系统,可以很简单快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台,确保能够做成千上万次测量。

  系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

  可测样品膜层

  基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:

  量测原理

  当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,我们可以判断我们可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(愈多的震荡代表较大的厚度)。而其他的材料特性如折射率与粗糙度也能同时测量。

  FILMeasure软件提供两种分析模式:

  Sepectru-Matching与FFT。在Spectrum-Matching模式中,您可以分析厚度与折射率。反正,FTT模式虽然只能测量厚度,但在较厚的薄膜厚度测量,FFT的分析能力更为健全。

  FILMapper软件-自动测量

  测绘图案绘制

  用户能随心所欲的绘制所需的图案,操作功能方便省时

  测绘图案参数:

  ?圆形/方形

  ?放射状

  ?中心或边缘排除

  ?点位密度

  2D和3D的测绘

  不论是反射率,厚度还是折射率的测量,都可以用2D或3D呈现。测绘结果能依不同的需要做调整,参数设定简单容易。测绘图能从不同的角度检视。

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