1-2022-SC-SU-I型磁控溅射仪---设备彩页.doc
SC-SU-I型磁控溅射仪
参数
指标
石英仓尺寸
150X120MM
样品台尺寸
70mm
溅射面积
50mm
真空度
5pa
可通气体
氩气,氮气等惰性气体
溅射速度
8nm/min
整机功率
200W
机器尺寸
360(W)X310(D)X150mm(H)