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RTP管式退火炉、真空合金炉 青岛晨立

RTP管式退火炉、真空合金炉 青岛晨立
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产品报价: 230000
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详细说明

  RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备,可根据客户不同需求定制。

  主要技术参数

  ◆工艺管数量:1管

  ◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)

  ◆结构型式:卧式热壁型

  ◆工作温度范围:200~1100℃

  ◆恒温区长度及精度:±1℃/600mm

  ◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

  ◆真空度:   3×10-4Pa

  ◆升温速度:  60度/min

  ◆降温速度:  60度/min

  ◆控制方式: 工业微机控制

  ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

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