飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory
Femtika公司设计并生产的飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统。与传统的微纳3D打印设备相比，Laser Nanofactory不仅可用于光子学聚合物微纳结构的加工，还可以用于石英，陶瓷，玻璃和金属等材料从毫米到微米尺度的精确加工。设备加工速度可高达50mm/s，加工精度优于100nm，还可实现不同加工工艺间的无缝切换。得益于Femtika先进的飞秒激光技术，Laser Nanofactory在进行微纳加工时所产生的热效应小，加工出的结构边缘锐利，因此特别适合微纳结构的加工。
应用领域
? 微纳光学
? 微流控
? 微纳机电器件（M/NEMS）
? 纳米技术
? 生物医药
? 通讯技术
? 传感器件
? 材料表面改性
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Laser Nanofactory技术参数
飞秒激光 | 波长 | 1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm |
脉冲持续时间 | <290 fs - 10 ps | |
脉冲能量 | >65 μJ | |
极限平均功率 | >4 W | |
重复率 | 60 - 1000 kHz | |
冷却方式 | 气冷 | |
定位平台 | XY方向移动范围 | 160 mm x 160 mm |
Z方向移动范围 | 60mm | |
XYZ正交性 | 3 arc sec | |
分辨率 | 1 nm (XY), 2 nm (Z) | |
极限速度 | 350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z) |
Laser Nanofactory制备的多光子聚合物3D结构
Laser Nanofactory选择性刻蚀结果展示
Laser Nanofactory在样品上进行激光烧蚀
Laser Nanofactory对器件中的不同材料采用不同加工技术（无缝切换）
用户单位
