产品特点：
模块化设计
可单独使用(S)或集成于手套箱(G)
不同的模块之间可实现自由组合
多基板&多掩模工艺
一致性标准偏差在+/-3 %区间(几何式设计可缩小至+/-1 %)
OPTIvap 4可用于大小150x150 mm或直径150 mm (6英寸)的基板
OPTIvap 6可用于大小200x200 mm 或直径280 mm (8英寸)的基板
应用行业：
复杂的多层镀膜设备(用于OLED,OPV)
光学镀膜
光伏、半导体行业
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