产品特点:
可集成MBRAUN手套箱(由过渡舱实现连接)
可处理50 x 50 mm大小的晶圆基板
紧凑型设计
低成本、经济型方案
交货快
安装简单、方便
易于工艺改造和提升
应用行业:
OLEDs/有机光电子
光伏太阳能