定量分析型EBIC

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品　　牌：POINT ELECTRONIC

产品型号：DISS6

适用范围：高教

所在地区：

　　PE提供两种EBIC分析版本，定量分析型EBIC和基本型EBIC。

　　定量分析型EBIC系统拥有丰富的测试和分析功能。它包含一个EBIC测试电路、一个扫描发生器、一个EBIC特制样品夹持器、一个法兰和分析软件。分析软件可进行多种分析，例如：灰度分析、线扫描、点测试、EBIC电流分析等等。

　　基本型EBIC系统是一个简单的EBIC测试系统。它包含一个EBIC测试电路、一个EBIC特制样品夹持器和一个法兰。 该系统信号输出可连接到电镜“外部”输入接口。利用这个系统，电镜软件可以处理和控制EBIC图像。

　　EBIC系统广泛用于器件或电路的分析，例如：

　　研究材料性质与器件性能之间的关系

• 对整个器件的电学活性进行图像观察

• 区分电活性缺陷和电钝化缺陷

• 电活性与EDS和EBSD的协同分析

　　以分辨率定位电缺陷

• 为TEM或AFM的制样做准备

• 在FIB或SEM中利用EBIC直接观察样品缺陷，避免转移样品后丢失缺陷位置

• 在样品切削制备过程中，基于EBIC图像决定停止切削动作

　　对大面积器件进行结点和缺陷的面扫描

• 鉴别所有的电活性缺陷

• 绘制结点和电场的活性区域

• 确认掺杂情况和区域

　　基于的EBIC信息对材料性质进行分析

• 测量缺陷对比度/复合强度

• 提取少数载流子的扩散长度

• 确定耗尽层的宽度

　　利用内置的偏压和实时叠加验证器件的运作模式

• 图像观察分层器件的结点和场

• 在偏压下绘制太阳能电池的电活性

• 器件设计模型和实际图像观察的器件工作行为的比较

　　通过深度剖析得到三维信息

• 改变SEM的电子束高压以得到不同深度的EBIC信号

• 研究FIB-SEM中截面的EBIC图像

• 输出不同深度的EBIC信号以进行3维重构

　　EBIC采集软件：

　　SE信号和EBIC信号的同时采集：

　　实时伪彩色调制工具：

　　I-V特性曲线：

　　EBIC线扫描：

　　性能指标：

1. 分辨率 <10 pA (depending on the specimen)

2. 增益粗调 10³… 10¹⁰V/A

3. 增益细调 0.1 … 100 × 连续地

4. 输入补偿

5. 输出补偿

6. 信号反转

7. 零平衡

8. 可调节低通滤波器

9. 校准用电流源*

10. 可调节偏压 (+/- 10 V)*

11. 电镜束流测试输出 (外部)*

12. 外部锁相放大器的AC-output* 

13. 图像系统的信号输出 (0 … 1 V)