叉指微电极因其微小的电极间距结构可用于各种小型化传感器。对于传统分析检测，包括色谱法、光谱法、质谱等方法，大多都需要昂贵的仪器和多种操作步骤，使得许多实际问题仍面临困难。开发高灵敏度、低成本，小型化的传感器尤为重要。本文综述了叉指微电极的研究进展，介绍了基于叉指微电极的传感器在各领域的广泛应用。
小型真空探针台郑科探 KT-Z4019MRL4T是一款高性价比配置的真空高低温探针台，功能，价格较低等特点。高温400℃ 低-196℃ 测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜。公司致力于各类探针台，（包括手动与自动探针台、双面探针台、真空探针台、）、显微镜成像、光电一体化的技术研发，拥有国内专业的技术研发团队，在探针台电学量测方面拥有近十年的经验团队。
微电容单通道叉指电极高低温探针台
微电容单通道叉指电极高低温探针台KT-Z4019MRL4T
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到400℃ | 高低温型室温到400℃室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢6061铝合金可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体进气口 | 6mm快拧或6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢银铜合金纯银块 | 银铜合金纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热液氮制冷 |
样品台-视窗距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min
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温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控+自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 （可选K S B型热电偶） | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA 接头香蕉插头线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V 电流噪声≤10pA | |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） | |
探针材质 | 镀金钨针（其他材质可选） | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） | |
