铬金薄膜的蒸镀生长。本文所研究的叉指电极结构采用铬、金材料制作。首先需要在玻璃衬底上生长一层均匀覆盖的薄膜。将上一步工艺过程中清洗好的玻璃片放入电子束蒸发镀膜机中，抽真空后，先蒸镀 50 厚度的铬金属层，再蒸镀1000? 厚度的金层，后升温到 300℃进行热处理以增强铬金层的黏附性。
紫外光刻。首先利用匀胶机在玻璃衬底表面旋涂一层均匀的光刻胶，厚度大约为 1~2μm，然后利用光刻机设备以及已制备好叉指电极图形的光刻板在玻璃片表面进行紫外曝光工艺，然后在显影液中显影得到掩模图形。完成光刻后，在铬金金属薄膜表面上就形成光刻胶的电极图案。
叉指电极是指状或梳状的面内有周期性图案的电极，它是通过电化学工艺加工获得的超精细电路。作为电信号传输核心部件，广泛应用于生物医疗检测、环境在线监测，食品安全检测，安全监测等重要领域。
铂金叉指电极高低温探针台
铂金叉指电极高低温探针台KT-Z4019MRL4T 参数
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到400℃ | 高低温型室温到400℃室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢6061铝合金可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体进气口 | 6mm快拧或6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢银铜合金纯银块 | 银铜合金纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热液氮制冷 |
样品台-视窗距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 低温7℃/min | |
温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控+自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 （可选K S B型热电偶） | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA 接头香蕉插头线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V 电流噪声≤10pA | |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） | |
探针材质 | 镀金钨针（其他材质可选） | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） | |
