氧化铝陶瓷基底叉指电极：线宽线距可精确控制到5到200μm。钰芯常规氧化铝陶瓷基底叉指电极可耐250°C高温。具有高导热和高介电常数的特性，经常作为传感器，声表面波滤波器，微波射频等电信号传输核心部件，广泛应用于移动通信、医疗检测、环境在线监测等重要领域。
PET/PI柔性叉指电极，PET为半透明材料基底，PI为黄色基底；PI柔性叉指电极使用温度可达150°C，PET柔性叉指电极则为80°C。PI基底相对比较柔软。柔性电极可以贴合人体皮肤，实时传输检测信号，具有多层卷绕、性能倍增的特性，可大幅度提高电池和超级电容器的整体性能，提高体积比容量。还可用于柔性医疗传感器、可穿戴式传感器。
氧化铝陶瓷基底叉指电极微型探针台
氧化铝陶瓷基底叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T 参数
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到400℃ | 高低温型室温到400℃室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢6061铝合金可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体进气口 | 6mm快拧或6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢银铜合金纯银块 | 银铜合金纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热液氮制冷 |
样品台-视窗距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 值低温7℃/min | |
温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控+自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 （可选K S B型热电偶） | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA 接头香蕉插头线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V 电流噪声≤10pA | |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） | |
探针材质 | 镀金钨针（其他材质可选） | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） | |
