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大宗供气系统系统概述：
大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成，其中供气系统又可细分为气源、纯化和品质监测等几个部分。通常在设计中将气源设置在独立于生产厂房(FAB)之外的气体站(GasYard)。主要适用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工厂特气的集中供气。
供气方式
1)液氮储罐，用槽车定期进行充灌，高压的液态气体经蒸发器(Vaporizer)蒸发为气态后，供工厂使用。一般的半导体工厂用气量适中时这种方式较为合适，这也是目前采用多的一种方式。
2)采用空分装置现场制氮。这适用于N2用量很大的场合。集成电路芯片制造厂多采用此方式供气，而且还同时设置液氮储罐作备用。
图片为瑞声（常州）精密科技有限公司-新能源厂区
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