在真空腔体内，水汽分子是 典型的环境污染气体，占腔内残余气体65% 到95% ，当真空度达到10-2Pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。为了快速的达到较高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，在极短的时间达到需求的真空度
COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理将一个冷阱盘管或挡板，放置在真空室内的腔壁上或油扩散泵的泵口，通过制冷盘管表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
COOL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置，双级制冷可单独控制每一路的制冷，两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜。
