产品概述：MF4000系列带数显；FS4000系列不带数显
FS4000是采用的微机电系统（MEMS）流量传感器和电子控制，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而
-支持多种连接方式，易于安装与使用
-传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
-输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
-零点稳定度高
-全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
-低功耗、低压损
-响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
|
性能参数 |
FS4003 |
FS4008 |
单位 |
|
通径 |
3 |
8 |
mm |
|
流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
|
量程比 |
≥100:1 |
|
|
|
精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重复性 |
0.25 |
% |
|
|
零点输出飘移 |
±30 |
mV |
|
|
输出飘移 |
±0.12 |
%/℃ |
|
|
响应时间 |
10（默认，50，100，200，500，1000可设置） |
msec |
|
|
工作电源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
输出方式 |
线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc |
|
|
|
流量压损 |
100 |
600 |
Pa |
|
工作压力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工作温度 |
-10 ~ + 55 |
℃ |
|
|
存储温度 |
-20 ~ + 65 |
℃ |
|
|
工作湿度 |
<95%RH（无结冰、无凝露） |
|
|
|
机械接口 |
BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头 |
|
|
|
校准方式 |
空气（或其他气体），20℃，101.325kPa |
|
|
|
重量 |
57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头) |
g |
|
