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在集成电路特别是MOS电路的和开发研制中，MOS电容的C-V测试是极为重要的工艺过程监控测试手段，通过C-V测试达到优化过程中的工艺参数，提高IC成品率。 |
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| CV-5000型电容电压特性测试仪是测试频率为1MHz的化数字的电容测试仪器，既可用于测试半导体器件PN结的势垒电容在不同偏压下的电容量，也可进行Mos电容的外加电压扫描测试，还可测试其它MIS电容。 | ||||||||||||||||||||
| 该电容电压特性测试系统由主机和上位机（PC）组成，并在软件控制下完成校准及测试等功能，同时显示C-V电容电压特性曲线。主机面板上的发光二极管指示仪器的工作状态，用数码管组成的显示板，将被测元件的数值，小数点清晰地显示出来。仪器有较高的分辨率，电容量是五位读数，可分辫到0.001pF，偏置电压分辨力为0.1V，漏电流分辨力为0.01uA。 | ||||||||||||||||||||
| 仪器配有CV-5000型测量座，接插元件灵活，方便可靠。 | ||||||||||||||||||||
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CV-5000型电容电压特性测试仪软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与CV-5000型电容电压特性测试测试仪连接的状态下，通过计算机的USB口实现通讯。 测试程序控制电容电压特性测试测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 |
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| 技 术 指 标： | ||||||||||||||||||||
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