硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷应用于微电子、光电子工业， 用于太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今上的大规模粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的应用还在不断出现, 包括用于陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新、新材料、新器件的基础。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著称。硅烷有宽的自发着火范围和的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
测量精度高GT901-SiH4泵吸式硅烷检测仪 产品描述
| 检测气体： | 硅烷 SiH4 （电化学传感器，使用寿命3年） | ||
| 检测范围： | 0-20ppm、50ppm可选 | ||
| 分 辨 率： | 0.01ppm（0-50ppm） | ||
| 检测精度： | ≤±3%（实际浓度，视具体传感器而定） | ||
| 重 复 性： | ≤±1% | 响应时间： | ≤20秒（T90） |
| 线性误差： | ≤±1% | 恢复时间： | ≤20秒 |
| 检测原理： | 电化学原理 | 零点漂移： | ≤±1%（F.S/年） |
| 显示方式： | LCD 液晶背光显示 | 报警方式： | 声光二级报警，≤80分贝 |
| 检测方式： | 泵吸式，自动抽气实时检测，测量结果 | ||
| 数据恢复： | 一键恢复出厂默认设置，方便快捷，不用担心误操作 | ||
| 自动诊断： | 系统检查：电池电量，显示，传感器，硬件故障 | ||
| 防护等级： | IP65 | 工作温度： | -30℃～+70℃ |
| 防爆等级： | Exia II CT6 （本安型） | 工作湿度： | ≤95%RH无冷凝 |
| 尺 寸： | 134×61×32mm（L×W×H） | 工作压力： | ≤100Kpa |
| 重 量： | 300g | 工作电源： | 2800mA 可充电锂电池 |
| 相关配件： | 包装盒、说明书、充电器、皮套（选配） | ||
