| 自动椭圆偏振测厚仪 货号：ZH10669 | |
| 产品简介: 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。 仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。 指标： 测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm;折射率范围：1-10 测量小示值：≤1nm 入 射 角：20°- 90°精度≤0.05° 偏振器方位角范围：0°- 180° 度盘刻度：每格1度 偏振器步进角：0.014°/步 仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时） 测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005 光学中心高度：80mm 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 外形尺寸：680*390*310mm 主机重量：26kg 仪器成套性： 主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）。 |  |
