uKSA系列超高精密电控平移台,按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品,是我公司正在开发的新型电移台,该系列电移台设计技术指标达到国际水平。如:闭环分辨率0.1μm,全行程范围内直线度、平直度小于6μm,俯仰、偏摆小于15″。该系列产品配合我公司的控制器,定位于超高精度要求的领域应用,如:超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。
■ 产品特点:
◆内置进口超高精度光栅尺,配合我公司MC600系列控制器,闭环分辨率可达0.1μm
◆采用进口超高等级滚珠丝杠,可实现超高定位精度
◆采用进口超高等级交叉滚柱导轨,配合我公司特有的精密磨削工艺(包括铝底板的精密磨削),能有效保证电移台的直线度、平直度及俯仰、偏摆等指标
◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法,保证每一台产品,出厂时具有性能
◆封闭式防尘结构,可在各种环境中使用
◆使用三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音
◆使用伺服电机的该系列产品,也在规划中,敬请期待!