摘要:本实用新型提供了一种高灵敏度长度测量用的干涉仪,适合于测量长度、微小位移量。它是在G·W·stroke干涉仪上,增加了棱镜和平面反射镜。它在不需电子倍频装置的情况下,可使测量格值为任意值。通过增减棱镜的个数,满足不同测量灵敏度的要求。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京光学仪器厂;
- 发明人吴振华;
- 地址北京市通县北京光学仪器厂
- 申请号CN86202036
- 申请时间1986年04月12日
- 申请公布号CN86202036U
- 申请公布时间1987年04月01日
- 分类号G01B9/02;G01B11/02;