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    I型凹面光栅分度误差的检验方法

      摘要:本发明公开了一种能定量检验I型凹面光栅分度误差的方法。它通过检验I型凹面光栅正负极光谱的衍射光束形成的干涉条纹,确定I型凹面光栅分度误差。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京光学仪器厂;
    • 发明人吴振华;
    • 地址北京市通县
    • 申请号CN86107454
    • 申请时间1986年11月07日
    • 申请公布号CN86107454A
    • 申请公布时间1988年05月18日
    • 分类号G01M11/02;