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I型凹面光栅分度误差的检验方法
摘要:
本发明公开了一种能定量检验I型凹面光栅分度误差的方法。它通过检验I型凹面光栅正负极光谱的衍射光束形成的干涉条纹,确定I型凹面光栅分度误差。
专利类型
发明专利
申请人
北京光学仪器厂;
发明人
吴振华;
地址
北京市通县
申请号
CN86107454
申请时间
1986年11月07日
申请公布号
CN86107454A
申请公布时间
1988年05月18日
分类号
G01M11/02;
该申请人其他专利(共11)
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