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    制备金属和陶瓷复合膜的真空离子镀膜机

      摘要:一种用于金属表面处理可制备金属和陶瓷复合膜的真空离子镀膜机。它是在常规的真空离子镀膜机上再配置射频(R.F)磁控溅射靶,将其与多个电弧蒸发靶、多个多种直流(D.C)磁控溅射靶有机地组合在一个真空室内,制备出既有金属相又有陶瓷相特性的多层多种复合膜,尤其是能镀制出透明陶瓷保护膜,使金属表面改性达到高耐磨损、强耐腐蚀的目的。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人深圳市黄金屋真空科技有限公司;
    • 发明人胡显奇;
    • 地址518053广东省深圳市华侨城东E工业区5栋5楼东座胡显奇转
    • 申请号CN98249501.3
    • 申请时间1998年11月19日
    • 申请公布号CN2356042Y
    • 申请公布时间1999年12月29日
    • 分类号C23C14/35;