摘要：一种在工件上获得预定膜层厚度分布用的夹具装置属于真空镀膜用工件夹具技术领域，其特征在于：它由沿径向分布有许多安放工件用的孔的载盘、内壁卡住工件而外壁又与各孔相套且与载盘相连的卡圈、支架以及与支架相连而位置与上述各孔相对但形状又按预定膜层厚度分布设计的挡板组成。载盘、支架可以都是球面形也可以都呈平面形，挡板可以是一个也可以多个，按要求而定。在真空室内可以安装一个或多个用这种夹具制成的镀膜工艺装置以扩大其膜层厚度比。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京电影机械研究所;
- 发明人赵福庭;胡泉兴;
- 地址100026北京市团结湖北路2号
- 申请号CN93217695.X
- 申请时间1993年07月10日
- 申请公布号CN2170953Y
- 申请公布时间1994年07月06日
- 分类号C23C14/04;
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