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    一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统

      摘要:本实用新型提供一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统,所述激光干涉仪的角度测量校准装置包括:激光头、角度干涉镜、角度反射镜、转台上盘、转台下盘和转台底座,所述角度干涉镜设置于所述激光头和角度反射镜之间,所述角度反射镜设置于所述转台上盘上,所述转台上盘设置于所述转台下盘上;所述转台底座设置有凹槽,所述转台下盘通过凹槽设置于所述转台底座上。本实用新型结构精密,标准角度误差小,能够通过主动生成一定偏角来校准初始零位角,所述偏角可以通过角度光栅和驱动构件来主动生成,该生成的角度较为精确;在此基础上,在校准的过程中还能够同时校准初始零位误差和角度反射镜的常数,简化了激光干涉仪的校准步骤,提高了校准效率。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人深圳市中图仪器科技有限公司;
    • 发明人张和君;潘子祥;刘龙为;
    • 地址518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋2层
    • 申请号CN201621011800.4
    • 申请时间2016年08月30日
    • 申请公布号CN205879111U
    • 申请公布时间2017年01月11日
    • 分类号G01B9/02(2006.01)I;