摘要：本实用新型涉及一种蒸发镀膜仪，包括机架，所述机架上固定有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源，所述真空室外顶部设置有连接于基片台并用于驱动基片台匀速旋转的旋转电机。本实用新型提供的蒸发镀膜仪，将待镀工件安装在基片台，将待蒸发镀膜的材料放在蒸发坩埚里，启动旋转电机工作，基片台能够匀速转动，保证蒸发材料均布在基片表面，镀膜均匀，镀膜品质高。
- 专利类型实用新型
- 申请人合肥科晶材料技术有限公司;
- 发明人邾根祥;方辉;江晓平;朱沫浥;王卫;
- 地址230031 安徽省合肥市长江西路669号华源实业园
- 申请号CN201620521609.8
- 申请时间2016年06月01日
- 申请公布号CN205821439U
- 申请公布时间2016年12月21日
- 分类号C23C14/26(2006.01)I;
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