摘要:本实用新型公开了一种用于解析离子源进样装置的XY移动平台,包括X移动平台和Y移动平台,X移动平台安装在所述Y移动平台上,X移动平台包括基座,滑动部件和轨道部件,滑动部件滑动安装在所述轨道部件上,所述轨道部件安装在所述基座上,所述X移动平台上包括第一挡块和第二挡块;本实用新型通过XY移动平台的运动推动举靶顶靶机构使得盖板上的凹槽与靶槽平台形成封闭腔室并由真空系统抽真空,以形成过渡真空腔室,可以有效地使得样品进行一个动态的样品对于真空度的适应过程,操作更加灵活和便捷。
- 专利类型实用新型
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人应刚;徐鹏登;周立;
- 地址215347 江苏省苏州市昆山市玉山镇中华园西路1888号天瑞产业园
- 申请号CN201620556931.4
- 申请时间2016年06月12日
- 申请公布号CN205810761U
- 申请公布时间2016年12月14日
- 分类号H01J49/04(2006.01)I;H01J49/16(2006.01)I;