摘要：本实用新型公开了一种石英晶片研磨在线测频系统，包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块。本实用新型用基于DDS技术的π网络最大传输法检测原理增强了系统的抗干扰性，解决现有ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题。本实用新型所有频段采用统一的π网络接口电路，解决现有ALC系统不同频段需要更换探测头的缺陷，降低射频接头频繁插拔导致的电学故障风险，增强系统工作稳定性，能够显著提升晶片研磨质量和产品品质稳定性。硬件系统方案不仅能够覆盖目前晶片研磨生产所涉及的所有频段，而且只需要通过算法参数上修改就能兼容石英晶片的所有切型。
- 专利类型实用新型
- 申请人浙江大学台州研究院;
- 发明人郭彬;潘凌锋;陈浙泊;陈一信;林斌;
- 地址318000 浙江省台州市椒江区市府大道西段618号
- 申请号CN201620370210.4
- 申请时间2016年04月28日
- 申请公布号CN205720430U
- 申请公布时间2016年11月23日
- 分类号G01R23/02(2006.01)I;
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