摘要：本实用新型公开了一种真空排气台，包括真空室，为中空长条型结构；在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座使工件和真空室密封连接。本实用新型使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
- 专利类型实用新型
- 申请人成都西沃克真空科技有限公司;
- 发明人徐子明;傅绍英;向勇;刘雯;闫宗楷;
- 地址610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港（双流园区）东海路六段680号
- 申请号CN201620261574.9
- 申请时间2016年03月31日
- 申请公布号CN205714650U
- 申请公布时间2016年11月23日
- 分类号F04B37/14(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
