摘要：本实用新型公开了一种工件装夹夹具，包括位于溅镀室的腔室底部的底座、底座上的固定轴、处于相邻两个固定轴之间的工件装夹板、工件装夹板上设置的工件装夹孔、位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间的传动轴；由于每个工件装夹板上的工件装夹孔可同时装夹至少两种不同类型的工件，因此能够同时溅镀不同类型的工件，提高溅镀的效率。
- 专利类型实用新型
- 申请人成都西沃克真空科技有限公司;
- 发明人徐子明;傅绍英;向勇;胡杨;
- 地址610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港（双流园区）东海路六段680号
- 申请号CN201620434998.0
- 申请时间2016年05月12日
- 申请公布号CN205688006U
- 申请公布时间2016年11月16日
- 分类号C23C14/35(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;
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