摘要：本实用新型公开一种微小空间的二次靶靶材精密切换装置，包括：滑轨座、驱动电机、丝杠、滑块、靶材转动电机、靶材转动块、靶材和靶材限位装置，驱动电机固定在滑轨座上，驱动电机驱动丝杠转动，丝杠驱动滑块在滑轨座上滑动，靶材转动电机固定在滑块上，靶材转动电机带动靶材转动块转动，限位装置限制靶材转动块运动，靶材转动块上安装有靶材且各靶材的安装角度不同。
- 专利类型实用新型
- 申请人深圳市华唯计量技术开发有限公司;
- 发明人刘小东;江红;陈光华;
- 地址518000 广东省深圳市南山区高新园北区朗山一路6号意中利科技园2号楼二楼
- 申请号CN201620498222.5
- 申请时间2016年05月26日
- 申请公布号CN205656151U
- 申请公布时间2016年10月19日
- 分类号G01N23/223(2006.01)I;
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