摘要：本实用新型公开了一种基于自动跟踪的自由曲面光学元件形貌测量系统，包括运动模块、位置伺服模块和双频激光干涉仪；所述运动模块包括转台、导轨、音圈电机、滑块和机架；所述位置伺服模块包括彩色共焦位移传感器、信号调理器、自动跟踪控制器、音圈电机驱动器、光栅尺和光栅尺读数头；所述双频激光干涉仪包括激光器、平面干涉镜组和可移动反光镜；本实用新型采用探头自动跟踪的测量方式来拟合被测光学元件的形貌，能有效解决现有测量方法中探头不动带来的无法测量PV值较大的问题。同时采用彩色共焦测量原理，能使测量精度和分辨率都达到纳米级，测量量程达到10mm，弥补了现有探头对被测光学元件有可能造成损伤、精度不高和量程有限的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人浙江大学;
- 发明人居冰峰;杜慧林;曾培阳;孙安玉;孙泽青;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201620162659.1
- 申请时间2016年03月03日
- 申请公布号CN205655804U
- 申请公布时间2016年10月19日
- 分类号G01B11/24(2006.01)I;
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