摘要：本申请提供了一种智能等离子体蒸发镀膜机，针对现有真空镀膜机操作复杂、人工成本过高、镀膜质量差异不一的问题，本申请提供的智能等离子体蒸发镀膜机的智能控制装置分别与气体流速控制装置、变频调速装置和镀膜真空室装置连接，通过智能控制装置控制镀膜机的气体进入速度、工装装置的基座转动速率和温度调控，本实用新型的智能等离子体蒸发镀膜机可实现智能化生产、降低生产成本及提高镀膜质量。
- 专利类型实用新型
- 申请人深圳市东信高科自动化设备有限公司;
- 发明人李香菊;
- 地址518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新桥同富裕工业区恒明珠科技工业园１２栋１楼东面
- 申请号CN201620254636.3
- 申请时间2016年03月30日
- 申请公布号CN205603663U
- 申请公布时间2016年09月28日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;
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