摘要：本实用新型公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本实用新型设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使本实用新型工件转架运动机构具有多种不同的运动模式，从而使本实用新型的工件转架运动机构除完成现有工件转架的三重运动外，还可通过对两个驱动机构的控制，使采用本实用新型的工件转架运动机构的工件转架的公转与自转均可独立调速。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;潘锐华;罗志明;李志方;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201620136458.4
- 申请时间2016年02月23日
- 申请公布号CN205576271U
- 申请公布时间2016年09月14日
- 分类号C23C14/50(2006.01)I;
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