摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种半导体扩散设备石英舟支撑密封装置，其包括驱动装置、传动装置、驱动轴、法兰构件、和支撑轴，所述驱动装置与所述传动装置相连，所述传动装置与所述驱动轴相连，所述法兰构件的下端与所述驱动轴的上端连接，所述法兰构件的上端与所述支撑轴连接，所述驱动轴、所述支撑轴和所述法兰构件围合形成法兰密封腔；本实用新型的目的是提供一种半导体扩散设备石英舟支撑密封装置以解决现有旋转装置支撑刚性较低，难以保证旋转装置上石英舟的水平性，且支撑密封装置的结构不紧凑、占用空间大，导致石英舟产量低的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人郝琪;林欣家;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201521133777.1
- 申请时间2015年12月30日
- 申请公布号CN205452252U
- 申请公布时间2016年08月10日
- 分类号H01L21/673(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
