摘要：本实用新型涉及真空设备技术领域，特别涉及一种真空管道，包括第一管体、第二管体以及波纹管，所述的波纹管设置有两个以上，气体经过第一管体分流至两个以上的波纹管中，流过波纹管的气体再经过第二管体汇流至一起，第一管体和第二管体为刚性材料制成，真空管道的进、出气口同心布置，波纹管的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管关于该轴心对称布置。由于波纹管关于进气口的轴心对称布置且与轴心垂直，这样各波纹管的拉伸和压缩变形被互相抵消，而第一、二管体是刚性的，这样抽气时真空泵和真空腔体之间就不会发生位移；同时，由于这里设置了波纹管，这样真空泵的振动也不会传递给真空腔体，起到很好的隔振效果。
- 专利类型实用新型
- 申请人安徽万瑞冷电科技有限公司;哈尔滨工业大学;
- 发明人何超峰;丁先庚;王辉;刘彦武;郁欢强;董相文;孙兴中;戴建彪;张海峰;卞荣耀;李阳;陈耀锋;张俊峰;武义锋;章学华;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区海棠路189号
- 申请号CN201620207524.2
- 申请时间2016年03月16日
- 申请公布号CN205447065U
- 申请公布时间2016年08月10日
- 分类号F16L39/04(2006.01)I;F16L27/11(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
