摘要：本实用新型涉及一种电感耦合等离子体发生器中的RF信号源，包括石英晶体振荡器、串联谐振回路和压控信号衰减器，串联谐振回路连接在石英晶体振荡器和压控信号衰减器之间，谐振于石英晶体振荡器的振荡频率，并将信号传输给压控信号衰减器，以保证信号为所需的正弦波形，并通过电容分压控制传输给压控信号衰减器的信号幅度。该信号源可配合负反馈系统，控制RF线性放大器输出功率的高低。它的特点是，动态范围大、正弦输出波形失真小，能满足大功率RF线性放大器对信号源严苛的要求。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京东西分析仪器有限公司;
- 发明人李选培;
- 地址102308 北京市门头沟区石龙经济开发区上园路3号
- 申请号CN201521100171.8
- 申请时间2015年12月24日
- 申请公布号CN205377789U
- 申请公布时间2016年07月06日
- 分类号H03B5/32(2006.01)I;
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