摘要：本实用新型公开了一种石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，包括：密闭的真空室（1）、用于石墨烯沉积的沉积箔带（2）和设于真空室两端的石墨烯沉积箔带的收放卷仓（3），以及与所述石墨烯沉积箔带（2）相连接的驱动装置（4），所述驱动装置（4）包括驱动电机与石墨烯沉积箔带收放卷辊（5），且所述真空室（1）与收放卷仓（3）中间设有用于石墨烯沉积箔带加热装置（7），其沿着石墨烯沉积箔带（2）的运动方向，所述收放卷仓口设有用于冷却沉积有石墨烯的沉积箔带的快速冷却装置（8），以使得高温的石墨烯沉积箔带（2）快速冷却至常温，并使的后续制备进程快速连续地进行。
- 专利类型实用新型
- 申请人咸阳鸿峰窑炉设备有限公司;
- 发明人王宏飞;戚顺昌;吴洪;
- 地址712000 陕西省咸阳市秦都区留渭路3号
- 申请号CN201520927920.8
- 申请时间2015年11月20日
- 申请公布号CN205295454U
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号C23C16/26(2006.01)I;
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